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超纯水 (UPW) 及去离子水系统· (DIW)

 

超纯水是在半导体工业一种常用的术语。此术语强调的是水被处理至的最高水平的纯度。

 

六合峰公司可以为客户提供满足以下设计规范的纯水系统:

ASTM D5127 - 电子和半导体行业超纯水标准指南
SEMI F63 - 半导体行业超纯水指导文件