上海中芯
行业:芯片 工程地点: 中国上海 工程范围: 设计,采购及建设 年份: 2003年至今
系统:
8B & 9B 洁净室扩充
OS4 MS 数据库房空调系统
冷库空调系统:
内装 · 暖通及洁净室 · 工艺系统 · 弱电及监控系统 · 空调水系统 · 油烟净化系统
制程冷却水系统
制程真空系统
制程排气系统
市政用水
化学供应
天津中芯
行业:芯片 工程地点: 中国天津 工程范围: 设计,采购及建设 年份: 2004年至今
系统:
制程冷却水系统
制程真空系统
除尘系统
制程排水系统
制程冷却水
市政用水
化学供应
深圳中芯
行业:芯片 工程地点: 中国深圳 工程范围: 设计,采购及建设 年份: 2009年至今
系统:
FAB16 一期
EXH-PCW-PV-HV系统工程: 酸/碱性,一般,有机排气,砷排气系统 · 制程冷却水系统 · 制程真空系统 · 除尘系统
FAB 15
20K-30K MAU系统扩充 · 30K-40K EXH-PCW- PV系统扩充 · 30K-40K 中央动力扩充
工艺冷却水系统(1200CMH)· 除尘系统 · 工艺排水系统
北京中芯
行业:芯片 工程地点: 中国北京 工程范围: 设计,采购及建设 年份: 2020年
系统:
FAB2-P2 华山项目:厂务电力系统安装扩充工程
制程冷却水系统(4500CMH)
制程真空系统
除尘系统
制程排水系统
绍兴中芯
行业:芯片 工程地点: 中国绍兴 工程范围: 设计,采购及建设 年份: 2019年至今
系统:
高真空系统二次配工程
制程冷却水系统