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超纯水(UPW)及去离子水(DIW)系统

 

超纯水是半导体行业中一种常用的术语,此术语强调的是所有污染物几乎被处理殆尽,仅剩氧原子和氢原子的水。
 
六合峰为客户提供满足以下设计规范的纯水系统:

  • ASTM D5127 - 电子和半导体行业超纯水标准指南
  • SEMI F63 - 半导体行业超纯水指导文件

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